投资要点

电子特气：电子工业的血液，集成电路耗材中占比14%电子特气是专用于电子领域的工业气体，参与到电子器件各生产工艺环节（如刻蚀、清洗、外延等），直接影响成品的良率及性能。2021 年集成电路、显示面板、LED、光伏等下游需求占比分别43%、21%、13%、6%。北美半导体协会：

电子特气是集成电路第二大耗材，成本占比14%。

电子特气市场规模较大，增速较快。预计2023 年中国电子特气市场规模249 亿元，预计2023-2025 年行业复合增速13%

1、集成电路国产化迫切，电子特气需求有望持续增长。（1）中国晶圆产能扩张速度将快于全球，预计2022-2026 年中国300mm 晶圆产能复合增速12%。（2）中国半导体全球制造份额有望持续提升，预计2030 年提升至24%。（3）预计2025 年中国集成电路电子气体规模134 亿元，2021-2025 年CAGR 为12%。

2、显示面板：随全球经济复苏，显示面板价格回暖，市场规模稳健增长。

3、光伏市场：多晶硅料价格下降驱动光伏装机显著增长，电子特气用量增加。

中国电子特气从进口替代到供应全球

1、行业壁垒高：技术壁垒、认证壁垒、资金壁垒。

2、国产替代空间大：中国电子特气市场主要由外企主导，政策保驾护航，国内龙头企业积极推动国产化。2020 年中国电子特气市场前四企业分别为空气化工、林德、液化空气、大阳日酸，占比分别为25%、23%、22%、16%。

3、全球主要集成电路电子特气产品梳理：三氟化氮、六氟化钨等为使用量最大的电子特气，主要应用于成膜、清洗与刻蚀环节。

4、海外空间广阔：以三氟化氮及六氟化钨为例。（1）三氟化氮：2019-2021 年中船特气国内三氟化氮市占率分别为44%、43%与49%，海外三氟化氮市占率分别为3%、4%与5%，海外市场开拓潜力巨大。（2）六氟化钨：2022 年中船特气国内、海外三氟化氮市场占有率分别为65%、10%，海外市场拓展潜力大。

投资建议：

重点推荐中国工业气体龙头杭氧股份、民营气体领军企业侨源股份、特种气体先行者华特气体、电子特气新星凯美特气、民族工业气体领军企业陕鼓动力、民营空分设备龙头福斯达，持续看好中船特气、广钢气体、金宏气体、雅克科技、昊华科技、和远气体等工业气体/电子特气公司。

杭氧股份：工业气体龙头，国产替代、产品升级、治理改善、资产整合

侨源股份：民营气体领军企业，受益光伏锂电等新能源产业崛起

华特气体：电子特气先行者；拓品类、切合成，盈利能力提升

凯美特气：电子特气新星，光刻气体取得ASML 认证

陕鼓动力：民族工业气体领军企业，压缩空气储能打造新增长引擎

福斯达：民营空分设备龙头，受益“一带一路”业绩有望快速增长

风险提示

下游需求不及预期；成熟制程芯片用电子特气竞争加剧；原材料价格大幅波动。