光刻胶概念16日盘中大幅拉升,截至发稿,晶瑞电材、怡达股份20%涨停,容大感光涨超10%,国风新材涨停,双乐股份涨近9%,强力新材、南大光电涨超6%。
消息面上,近日,光谷企业在半导体专用光刻胶领域实现重大突破,武汉太紫微光电科技有限公司推出的T150A光刻胶产品,已通过半导体工艺量产验证,实现配方全自主设计,有望开创国内半导体光刻制造新局面。该产品对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。相较于被业内称之为“妖胶”的国外同系列产品UV1610,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大,稳定性更高,坚膜后烘留膜率优秀,其对后道刻蚀工艺表现更为友好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。
机构表示,随着全球半导体制程向着更先进、更精细化方向发展,驱动了半导体制造对光刻胶的需求增长在KrF光刻胶方面,随着3D NAND堆叠层数迅速增加,对光刻胶的使用量将大幅提升。预计至2024年底,我国将建立32座大型晶圆厂,且全部锁定成熟制程,光刻胶总体需求量增速将快速复苏。