核心观点：

10 月合计382 项招标，以华虹、积塔、燕东为主，招标设备主要包括刻蚀、清洗和量测等品类。2023 年10 月，统计样本中的晶圆产线合计产生382 项招标。以华虹半导体、积塔半导体、燕东微电子等产线招标为主。招标设备主要包括刻蚀、清洗和量测设备。2023 年1-10 月，统计样本中的晶圆产线合计招标1472 项，其中，华虹半导体、积塔半导体、粤芯半导体的招标量位居前三。整体而言，设备招标以扩散、刻蚀、量测设备为主。

10 月合计150 项中标，以测试机、探针台、量测设备居多，国产设备整体中标比例约49%，PECVD、退火、探针台设备的国产中标比例显著。中标方面，2023 年10 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标150台设备，以测试机、探针台、量测设备居多；国产设备整体中标比例约49%，其中，PECVD、退火、探针台设备的国产中标比例显著。2023年1-10 月，统计样本中的晶圆产线合计中标513 台设备，以测试机、气液系统、刻蚀设备居多；国产设备整体中标比例约51%，其中，PECVD、外延、氧化设备的国产中标比例较高。

10 月统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标74 台设备，以联动科技、矽电半导体、广立微中标为主，在对应工艺环节的中标比例为59%。2023 年10 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标74台设备，以联动科技、矽电半导体、广立微中标为主，在对应工艺环节的中标比例为59%。在2023 年1-10 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标208 台设备，北方华创、万业企业、中微公司中标量领先。2023 年1-10 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为46%。其中，北方华创的外延、氧化设备、拓荆科技的PECVD 设备在对应工艺环节的中标比例领先，均为100%。

投资建议：国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中科飞测、拓荆科技、芯源微、中微公司*、华海清科、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。

（带*标的为与广发机械联合覆盖）

风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。