半导体设备龙头,国产替代急先锋。北方华创成立于2001 年9 月,公司主营半导体装备、真空与新能源锂电装备和精密元器件业务,在半导体设备方面,公司主要产品包括刻蚀机、PVD、ALD、CVD、氧化/扩散炉、清洗机等高端半导体工艺装备及核心零部件。根据2024 一季度报,总营收58.6 亿元,同比增长51.4%,归母净利润11.3 亿元,同比增长90%。2023 年公司新签订单超过300 亿元,其中集成电路领域占比超70%。
薄膜沉积设备:创新突破海外垄断,新品开启验证。预计全球半导体薄膜沉积设备市场规模在2025 年将从2017 年的125 亿美元扩大至340 亿美元,保持年复合13.3%的增长速度。1)PVD(物理气相沉积):应用材料基本垄断了PVD 市场,占85%的比重。公司PVD 产品为磁控溅射PVD,通过持续突破包括溅射源设计等多个关键技术,公司建立了核心技术优势,代表了国产集成电路薄膜制备工艺设备的高水平。2)CVD(化学气相沉积):在CVD 市场中,应用材料、泛林半导体和东京电子占据了全球70%的市场份额。PECVD(等离子体增强化学气相沉积)在化合物半导体领域中,已在各大主流厂商实现了稳定的量产。HDPCVD(高密度等离子体化学气相沉积)能够在较低的沉积温度下产生比PECVD 设备更高的等离子体密度和质量,公司HDPCVD 产品Orion Proxima 正式进入客户端验证。
刻蚀设备:百亿美元市场,加速导入国产设备。全球刻蚀设备市场规模持续增长,预计2025 年将增长至155 亿美元,其中主要为等离子刻蚀的干法刻蚀的占比超过90%。TSV(硅通孔技术)的技术核心包括刻蚀工艺,其市场规模在2022-2026 年期间的CAGR 为16%。公司作为国产半导体刻蚀设备龙头,加速实现国产替代,在硅刻蚀、金属刻蚀、介质刻蚀工艺的实现全覆盖,并持续进行产品与技术创新:1)迭代升级高深宽比TSV 刻蚀设备,于2023年销售突破百腔;2)发布首台国产晶边干法刻蚀设备,已在客户端实现量产;3)推出去胶机,开拓刻蚀领域全新版图,已完成多家客户验证并实现量产。我们认为,公司刻蚀设备国产替代趋势加强,市占率有望提升。
清洗和退火设备:平台化布局,完善产品矩阵。1)清洗设备:预计到2024年,全球半导体清洗设备市场规模将增至31.93 亿美元。市场由DNS 和TEL主导,两家市场份额占比达77%。公司同时具备单片和槽式清洗两大平台,主要应用于12 寸集成电路领域:单片清洗机能够覆盖Al/Cu 制程的全部工艺,槽式清洗机已在多家客户端实现了量产。2)退火设备:2020 年全球热处理设备市场规模15.37 亿美元,预计到2025 年全球热处理设备市场规模将达到19.91 亿美元。全球热处理设备整体市场呈现出寡头垄断的格局,美国的应用材料和日本的东京电子占46%和21%的市场份额。公司主要产品为立式炉装备,已成为国内主流客户的量产设备,累计出货超过700 台。
盈利预测与投资建议:我们预计公司在2024/2025/2026 年分别实现营业收入309.40/409.28/511.60 亿元,同比增长40.1%/32.3%/25.0%,实现归母净利润57.31/78.97/98.45 亿元,同比增长47.0%/37.8%/24.7%,当前股价对应2024/2025/2026 年PE 分别为26.59/19.30/15.48X。北方华创作为半导体设备龙头,维持“强烈推荐”评级。
风险提示:新技术、新产品研发进展不及预期;全球贸易纷争影响;行业竞争加剧。