【科创板收评：半导体设备板块上涨 创新药板块强势发力】《科创板日报》27日讯，今日，科创50指数收涨1.12%，报1040.57点。盘面上，半导体设备板块上涨，芯碁微装涨超12%，富创精密涨超9%，茂莱光学涨超5%。消息面上，新凯来已经开发了刻蚀产品、扩散产品、薄膜产品以及物理量测产品、X射线量测产品、光学量检测产品6大类工艺和量检测装备。生物制品板块强势发力，荣昌生物、迈威生物涨超11%，智翔金泰、益方生物涨超9%，诺诚建华、百济神州涨超6%。