事件：中科飞测发布2024 年Q3 季报：2024 年前三季度公司实现营收8.12 亿元，同比增长38.21%；实现归母净利润-0.52 亿元，同比下降165.58%；扣非归母净利润-1.25 亿元，同比下降768.93%。

专精半导体质量控制，营收快速增长：公司保持9 大设备及3 大软件的产品布局，订单规模持续增长，新设备验证进展顺利。公司Q3 季度营收同比增长56.79%，增速相较Q2 季度的12.07%明显加快，主要系公司在核心技术、客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的全面竞争优势得到体现，市场认可度不断提升，销售规模持续增长。

研发与股份支付费用增长，利润短期承压：为打破海外企业的垄断，公司持续加大研发投入，2024 年前三季度研发费用合计3.35 亿元，同比增长131.82%，影响了公司盈利能力。此外，为进一步促进公司核心人才队伍的建设和稳定，公司制定并实施了《2024 年限制性股票激励计划》，股份支付费用有所增加，也影响了公司的利润。

各类新产品研发工作稳步推进：今年前三季度，公司研发人员数量、研发材料费用及股份支付费用均有较大幅度的增加；随着各类型新产品产业化进程的顺利推进，公司产品布局日趋完整。公司的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备，已小批量出货到多家国内头部客户产线上，进行工艺开发与应用验证工作，目前进展顺利；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备，已出货到部分客户产线上进行工艺开发与应用验证工作。

投资建议：我们预计公司2024-2026 年实现营业收入12.42/18.16/24.15 亿元，归母净利润0.91/2.51/4.61 亿元。对应PE 分别为241.41/87.59/47.62 倍，维持“增持”评级。

风险提示：半导体市场景气度下行；海外供应风险；国内半导体设备需求放缓；高端设备研发进度不及预期;行业竞争加剧。