投资要点：

中科飞测：围绕九大系列设备和三大系列软件产品，持续推进产业化进程。

公司专注于高端半导体质量控制领域，为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。设备产品方面，公司九大系列设备面向全部种类集成电路客户需求，其中六大系列设备（无图晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、套刻精度量测、介质膜厚量测、金属膜厚量、三维形貌量测）已在国内头部客户批量量产应用，市占率稳步增长，另外三大系列设备（明场检测、暗场检测、光学关键尺寸量测）均已完成样机研发，并出货客户开展产线工艺验证和应用开发。截至24H1，公司拥有专利558 项，研发人员达465 人，占比44.4%。24H1 公司实现营收4.64 亿元，同比增长26.91%；归母净亏损6801 万元，主要受研发和股份支付费用影响。

下游扩产叠加国产化率提升，国内量检测设备空间广阔。1）据公司24 年半年报援引SEMI 数据，2023 年中国大陆晶圆产能同比增长12%，中国大陆晶圆厂的产能增速居全球之首。2）目前全球半导体设备市场仍处于寡头垄断局面，以应用材料、阿斯麦、拉姆研究、东京电子、科磊等为代表的国际知名半导体设备企业占据了全球市场的主要份额。由于全球供应链的紧张和国际贸易摩擦，半导体设备国产化的重要性提升。公司在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，能够为不同类型的集成电路客户（包括集成电路前道和先进封装）提供全面覆盖的检测和量测设备供应保障。

检测、量测设备产品丰富，增长动能充沛。2023 年公司检测设备营收达6.54亿元，同比增长70.15%，占总营收73.46%；量测设备业务实现收入2.22亿元，同比增长88.56%，占总营收24.87%。1）公司形成了集成电路制造过程中所有关键工艺环节所需的主要种类设备产品组合，无图形检测、图形检测、套刻精度、膜厚等品类设备已经在国内头部客户批量量产应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，市占率稳步快速增长。2）明场检测设备、暗场检测设备、光学关键尺寸量测设备均已完成样机研发，并出货至部分客户产线上进行工艺开发与应用验证工作，目前进展顺利。

盈利预测与估值。我们预计公司2024E-2026E 年营收分别为13.03/18.67/27.51 亿元，归母净利润为1.09/2.76/4.67 亿元，对应EPS 为0.34/0.86/1.46 元。我们采用PS 估值法，参考行业平均水平并考虑到公司在国产量检测设备的领先地位，给予公司2024 年15.0X-16.0X PS，我们认为公司的合理市值为195.39-208.42 亿元，对应合理价值区间为61.06-65.13元/股，首次覆盖给予“优于大市”评级。

风险提示。半导体行业周期性波动、技术研发不及预期、市场竞争加剧。