核心观点：

业绩符合预期。公司于4 月28 日发布23 年年报与24 年一季度季报，23 年公司实现营收16.80 亿元，同比+145.39%，归母净利润2.70 亿元，同比+399.33%，扣非归母净利润1.88 亿元，同比+849.89%；单看23Q4，公司实现营收6.58 亿元，同比+119.78%，归母净利润1.15亿元，同比+100.89%，扣非归母净利润0.73 亿元，同比+95.01%；24Q1，公司实现营收1.71 亿元，同比+125.27%，归母净利润0.04 亿元，同比+428.12%，扣非归母净利润-0.19 亿元，同比-648.26%。

半导体光伏订单均高增，竞争力持续验证。2023 年度，公司新增订单总额约 64.69 亿元，是去年同期新增订单的 2.96 倍；截止至 2024年3 月31 日，公司在手订单 81.91 亿元（含Demo 订单），其中光伏在手订单 70.26 亿元，半导体在手订单 11.15 亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单 0.50 亿元，为未来的业绩打下坚实的基础。

半导体工艺覆盖度不断提高。根据公司年报，进入产业化验证阶段的ALD 和CVD 工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG 技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV 技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5 等新工艺，形成批量的重复订单合计已超过5 亿元。

盈利预测与投资建议。我们预计微导纳米2024-2026 年营业收入为39.37/51.16/66.07 亿元，同期归母净利润为5.66/7.77/10.60 亿元，参考可比公司的估值水平，考虑公司在光伏领域ALD 相关设备的领先地位，以及公司近几年新切入半导体的PECVD 领域，故我们给予24 年40 倍的PE 估值，合理价值49.86 元/股，维持“买入”评级。

风险提示。技术迭代及新产品开发风险；新产品验证进度及市场发展不及预期的风险；毛利率下降的风险；经营业绩波动的风险。