投资要点

业绩高速增长，ALD 设备进入收获期：2023 年公司实现营业收入16.8亿元，同比+145%，其中光伏设备营收15.0 亿，同比+199%，占比89%，半导体设备收入1.2 亿元，同比+160%，占比7%；归母净利润2.7 亿元，同比+399%；扣非归母净利润1.9 亿元，同比+850%。2024Q1 公司实现营业收入1.7 亿元，同比+125%；归母净利润0.04 亿元，同比+428%。

盈利能力显著提升：2023 年公司毛利率为43.6%，同比+1.3pct，其中光伏设备毛利率43.8%，同比+8pct，半导体设备毛利率27.2%，同比-10pct；销售净利率为16.1%，同比+8.2pct；期间费用率为25.3%，同比-8.8pct，其中销售费用率为5.0%，同比-1.6pct，管理费用率（含研发）为20.2%，同比-7.3pct，财务费用率为0.04%，同比+0.1pct。2024Q1 公司毛利率为42.9%，同比-4.3pct；销售净利率为2.1%，同比+3.5pct；期间费用率为66.7%，同比-10.7pct，其中销售费用率为10.3%，同比-4.0pct，管理费用率（含研发）为57.3%，同比-7.5pct，财务费用率为-0.9%，同比+0.8pct。

合同负债&存货大幅增长，在手订单充沛保障业绩增长：截至2024Q1末公司合同负债为23.2 亿元，同比+145%，存货为40.7 亿元，同比+181%。2023 年公司新签订单总额约64.69 亿元，是2022 年同期新增订单的2.96 倍。截止至2024Q1 末，公司在手订单81.91 亿元（含 Demo订单），其中光伏在手订单70.26 亿元，半导体在手订单11.15 亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.50 亿元。

立足ALD 布局光伏&半导体，拓展CVD 打开成长空间：（1）半导体领域：进入产业化验证阶段的ALD 和CVD 工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG 技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV 技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5 等新工艺。2023 年公司客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基 OLED 等，其中超过 75%的增量订单来自存储领域（新型存储、 3D NAND 和DRAM），形成批量的重复订单合计已超过5 亿元。

（2）光伏领域：2023 年公司新签订单是2022 年同期的2.92 倍，80%增量来自于行业前十大电池片厂商及上市公司客户，应用的技术路线覆盖了 TOPCon、 XBC 和钙钛矿电池，设备类型以ALD 设备为主，poly设备订单增长显著。

盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单情况，我们调整微导纳米2024-2026 年归母净利润分别为6.3（原值6.0）/8.3（原值8.1）/9.2 亿元，当前股价对应动态PE 分别为分别24/18/16 倍，维持“增持”评级。

风险提示：若光伏下游装机量和扩产不及预期，晶圆厂资本开支下滑。