公司简介：公司成立于2015 年，核心技术ALD 率先应用于光伏领域，2020 年获得半导体领域订单并于2021 年取得销售，此外公司积极开发ALD 技术在其他新兴领域的应用。当前公司具备ALD、CVD 两大技术路线，面向光伏、半导体和其他新兴领域三大场景。

总体而言，光伏业务面向N 型电池技术，是目前的基本盘，半导体业务在放量初期，增长弹性充足，其他新兴领域正在积极探索，营收贡献较小。

从2023 年业绩预告来看，公司订单陆续交付，收入利润高速增长，规模效应之下盈利能力大幅改善，归母净利率大幅提升近10pct。接单表现强劲，在手订单十分充足，后续业绩增长有保证。

一、半导体：核心产品为ALD,拓展开发了PECVD 和LPCVD 两大CVD 产品1） ALD 设备市占率有望提升：ALD 技术具备自限制生长的特点，适合复杂结构的薄膜生长，在较为先进的存储、逻辑芯片制造工艺中必不可少，制程演进使得ALD 在薄膜设备市场规模占比上升。Gartner 数据显示2022 年全球/中国大陆半导体ALD 设备市场规模约30.26/7.95 亿美元，我们预测2025 年全球/中国大陆半导体ALD 设备市场规模约42.81/14.13 亿美元，三年复合增速分别为6.90%、15.35%。目前ALD设备国产化率不足2%，国内公司的优势ALD 产品基本差异化竞争，公司为国产ALD 龙头，技术团队产业经验丰富，接单表现强劲，预计市占率持续提升；

2） CVD 设备有望打开增长空间：CVD 在薄膜沉积设备市场规模占比最大。

2022 年PECVD+LPCVD（非管式）的全球/中国大陆市场规模合计为87.77/23.05 亿美元，我们预测2025 年PECVD+LPCVD（非管式）的全球/中国大陆市场规模合计为107.02/35.32 亿美元，二者市场规模是ALD 设备市场规模的2.5-2.9 倍。目前CVD 设备的国产化率仍然处于低位，公司实施差异化竞争策略，以硬掩模为切入点进入CVD 领域，首台PECVD 设备发往客户端到验收成功并取得重复批量订单的所用时间不足半年，可见公司技术实力。公司进军规模更大的CVD 市场，有望打开增长空间。

二、光伏：聚焦新型电池技术，拓品类+交整线助力公司订单快速增长降本增效驱动之下，TOPCon 电池为目前扩产主力技术路线，公司逐步布局了ALD、PECVD、PEALD 二合一平台、扩散炉等产品，并且创新性地交付了国内首个GW 级的TOPCon 整线，公司设备在TOPCon 产线的设备投资额中占比有所提升。下游扩产节奏放缓致使公司设备对应的市场空间有所萎缩，预计23-25 年公司在TOPCon/XBC/钙钛矿电池产线上可提供的设备的市场空间大约为395.61/203.59/144.58 亿元。此外，公司在XBC/钙钛矿电池产线设备均有布局和出货。公司ALD 设备市占率在细分领域内为行业第一，与业内知名公司形成长期合作，订单增长迅速， 2022 年末在手订单接近20 亿元，2023 年新签订单为2022 年的2.92 倍。饱满的在手订单有望为后续的业绩增长提供有效支撑。

三、其他新兴领域：积极探索应用场景，有望聚沙成塔ALD 最早被用于开发致电发光薄膜器件，半导体行业成为ALD 规模化应用的一大助力，目前广泛地应用于微电子、新能源、电子和光电材料以及催化等各个领域中。公司积极探索不同领域中的应用，第一台用于柔性电子薄膜封装的iSparol 系列于2022 年取得销售，2023 年上半年，用于微纳制造的ALD 设备在进行产业化验证，2024 年1 月，公司ALD 量产设备顺利发往欧洲某头部芯片制造客户，用于其车载芯片的制造，标志着微导纳米推动 ALD 技术在新兴产业领域的应用又取得新的突破。公司依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会，有望对营收形成一定的补充。

盈利预测与估值：我们预计公司23-25 年的营业收入为16.50、34.46、53.17 亿元，yoy+141.08%、108.85%、54.27%，归母净利润为2.80、5.82、9.24 亿元，yoy+417.08%、107.91%和58.64%。对应PE 为54、26、16X。公司在手订单充足，半导体领域具备高成长性，给予“强烈推荐”评级。

风险提示：新产品验证进度及市场发展不及预期的风险、技术迭代及新产品开发风险、核心技术人员流失或者不足的风险、行业周期波动和产业政策变化的风险、文中测算存在一定主观性，仅供参考