事件：1 月26 日，公司发布2023 年年度业绩预增公告。公司预计2023 年实现营收16.5 亿元左右，同比增长141%；预计实现归母净利润2.8 亿元左右，同比增长417%，扣非归母净利润为2 亿元左右，同比增加909.78%，公司盈利能力大幅提升。2023 年非经常性损益对净利润的影响约为0.8 亿元，主要为理财收益及公司收到的政府补助等。2023 年股权激励费用预计为1.1 亿元，加回后归母净利润约3.9 亿元，同比增长720%。

新签订单大幅扩张，支撑业绩长期增长。2023 年度，公司新增订单总额约为64.7亿元，同比增长196%，其中半导体领域新增订单同比增长229%，光伏领域新增订单同比增长192%。公司光伏+半导体设备新签订单大幅扩张，支撑公司业绩增长的可持续性。

半导体业务：ALD+CVD 双驱动，工艺覆盖度持续提升。产品方面，公司在保持核心产品ALD 设备销售领先优势的同时，成功推出了CVD 设备并顺利拿到批量重复订单，持续扩大工艺覆盖度和市场空间。客户方面，公司半导体客户数量进一步增加，已覆盖逻辑、存储、硅基OLED 和第三代半导体，存储领域客户拓展成效显著。预计2024 年公司半导体产品的工艺覆盖度、客户数量和订单规模将继续保持增长。

光伏业务：ALD 设备保持优势，品类扩张支撑业绩高增长。公司ALD 设备的市占率保持领先，且不断丰富光伏设备产品矩阵，提供包括ALD、PECVD、PEALD、扩散退火等多种设备，实现了对TOPCon 产线真空类设备的全覆盖。公司XBC和钙钛矿叠层电池专用设备顺利获得客户验收，钙钛矿电池领域，公司已获得国内客户百兆瓦级量产设备订单。

盈利预测、估值与评级：半导体ALD 设备壁垒高，公司差异化布局CVD 设备拓宽成长空间，在国产化背景下加速验证，半导体订单快速放量；光伏新技术迭代加速，公司订单获取能力强，基本盘稳固，可赋能半导体研发与产业化。我们上调公司23-25E 的归母净利润预测为2.80/5.34/7.99 亿元（较上次预测分别+130%/+103%/+89%），当前股价对应EPS 分别为0.62/1.17/1.76 元，当前股价对应PE 为54/28/19x。公司半导体ALD、CVD 设备处于加速验证与量产导入阶段，可享受一定的估值溢价，上调至 “买入”评级。

风险提示：新产品拓展进度不及预期，行业周期持续下行，国际贸易摩擦加剧。