事件：公司发布2023 年业绩预告，公司预计全年实现营业收入16.50 亿元，同比+141.05%，预计实现归母净利润2.80 亿元，同比+417.08%，预计实现扣除非经常性损益净利润2.00 亿元，同比+909.78%。单Q4 季度预计实现归母净利润约1.25 亿元，同比+119.30%，环比+43.68%。业绩持续高增。

订单金额再创历史新高，半导体设备订单快速放量。2023 年度，公司新增订单总额约64.69 亿元，同比+296%。其中，半导体领域新增订单较去年同期新增订单+329%，光伏领域新增订单较去年同期新增订单+292%。

公司深耕ALD 技术，向光伏、半导体领域扩展。（1）光伏领域：公司凭借以ALD 为核心,CVD 等多种真空薄膜技术梯度发展的平台体系,为客户提供ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种产品。在开发行业内首条GW 级PE-PolyTOPCon 整线基础上，公司进一步推出TOPCon 2.0 整线工艺技术。（2）半导体领域：公司是国内首家成功将量产型High-k 原子层沉积（ALD）设备应用于28nm 节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，已与国内多家厂商建立了深度合作关系，相关产品涵盖了逻辑、存储、新型显示等领域。同时公司成功推出具有市场竞争力的CVD 设备，进一步扩大产品工艺覆盖度和市场空间。

新型高效电池研发有序推进，抢占光伏技术制高点： 公司在TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局和出货。其中，公司自主研发的钙钛矿晶硅叠层电池专用设备顺利通过客户验收，帮助客户达成商业化电池（258.15cm2）最新世界纪录效率。

投资建议：考虑到公司股权激励支付费用影响，我们预计2023/2024/2025年归母净利润为2.80/4.95/7.37 亿元， 对应2023-2025 年PE 为53.7/30.4/20.4x。公司作为国内ALD 设备龙头，光伏、半导体业务持续放量，维持“买入”评级。

风险提示：光伏装机不及预期；市场竞争加剧；产品研发不及预期