事件：公司发布23 年三季度报告，前三季度实现营业收入10.22 亿元，同比+165.30%，实现归母净利润1.55 亿元，同比+4864.47%。单Q3 季度实现营业收入6.39 亿元，同比+178.72%，环比+108.78%，实现归母净利润0.87 亿元，同比+140.32%，环比+24.19%，公司三季度业绩环比高增。

盈利能力持续增长，在手订单再创新高。2023 年前三季度公司毛利率/净利率分别为42.36%/15.18%，同比+5.25/+16.03pct，盈利能力同比高增。截至2023 年9 月30 日，公司在手订单总额达70.82 亿元，同比+258.58%，其中光伏订单总额同比+244.32%，半导体订单总额同比+415.15%。

公司深耕ALD 技术，向光伏、半导体领域扩展。（1）光伏领域：公司凭借以ALD 为核心,CVD 等多种真空薄膜技术梯度发展的平台体系,为客户提供ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种产品。在开发行业内首条GW 级PE-PolyTOPCon 整线基础上，公司进一步推出TOPCon 2.0 整线工艺技术。（2）半导体领域：公司是国内首家成功将量产型High-k 原子层沉积（ALD）设备应用于28nm 节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，已与国内多家厂商建立了深度合作关系，相关产品涵盖了逻辑、存储、新型显示等领域。

全面布局多种技术路线，实现光伏设备结构多元化。（1）TOPCon：公司率先实现了PEALD 在2nm 膜厚的精确控制,满足隧穿氧化层工艺所需各项需求。多晶硅层采用管式PECVD 原位掺杂技术,攻克了导电膜沉积、爆膜问题、量产良率低三大瓶颈。（2）xBC 电池：自2022 年开始,公司应用于BC 电池制造的ALD 设备陆续获得来自隆基和爱旭的订单,并逐步发货,部分设备已于2023 年上半年通过客户验收,产品进入产业化应用阶段。

投资建议：我们预计2023/2024/2025 年归母净利润为2.79/6.83/13.42 亿元，对应2023-2025 年PE 为70.5/28.8/14.6x。公司作为国内ALD 设备龙头，光伏、半导体业务持续放量，维持“买入”评级。

风险提示：光伏装机不及预期；市场竞争加剧；产品研发不及预期