事件：芯源微发布Q3 季报：今年前三季度，该公司营收11.05 亿元，同比减少8.44%；归母净利润1.08 亿元，同比减少51.12%；扣非归母净利润0.40 亿元，同比减少77.97%。

多重因素导致公司营收规模下降：公司的营业收入主要与订单结构、排产及交付周期、客户端装调验收计划等相关，公司短交验周期订单与长交验周期订单分布不均匀，导致分季度收入存在一定波动。展望未来，随着Q4 季度的传统旺季到来，公司营收规模有望回升。

费用增加影响利润：公司围绕前道Track、前道化学清洗、后道先进封装等领域继续加大研发力度，研发支出大幅增加，2024Q1-Q3，公司研发费用增加超过 7,000 万元。此外，公司员工人数增长、股份支付分摊等，导致管理费用、销售费用同比大幅增加；2024Q1-Q3，公司管理费用和销售费用同比增加超过7,900 万元。

重要新产品顺利出货，有望成为增长新驱动力：2024Q3 季度公司首台化学清洗机顺利发机，机台所用高温SPM 清洗工艺被业界公认为28nm/14nm 制程性能要求最高的工艺之一。公司将借助前道物理清洗设备的成功经验，力争在前道化学清洗赛道实现跨越式发展，未来与前道涂胶显影设备一道形成两大主打优势产品，为公司长期发展提供稳定的业绩增长点。

投资建议：我们预计公司2024-2026 年实现营业收入19.83/26.31/34.60 亿元，归母净利润1.93/3.57/4.89 亿元。对应PE 分别为86.95/46.89/34.24 倍，维持“增持”评级。

风险提示：半导体市场景气度下行；海外供应风险；国内半导体设备需求放缓；高端设备研发进度不及预期；行业竞争加剧；限售股解禁风险。