刻蚀设备领军企业，多领域布局打开成长空间。中微公司主营刻蚀、薄膜沉积等半导体设备，下游涵盖集成电路、先进封装、LED外延片等领域，其半导体设备已被广泛应用于国际一线客户从65nm到5nm及更先进的芯片加工工艺。

CCP刻蚀国产龙头，ICP刻蚀稳步突破。公司已对28nm以上的绝大部分CCP刻蚀应用和28nm及以下的大部分CCP刻蚀应用形成较为全面的覆盖，ICP刻蚀设备也已在逻辑、DRAM、3D NAND、功率和电源管理以及微电机系统等芯片和器件的60多条客户的生产线上量产，并持续进行更多刻蚀应用的验证。

薄膜沉积设备顺利推进，量测检测设备持续布局。根据公司2023年报，公司近两年开发的LPCVD及ALD设备已有四款进入市场，其他十多种导体薄膜沉积设备也将陆续进入市场；此外公司通过投资布局了光学检测设备板块，并计划开发电子束检测设备，未来将不断扩大对多种检测设备的覆盖。

投资建议：预计公司2024-2026年营收分别为87亿元、116亿元、150亿元，同比增速分别为40%、32%、29%，归母净利润分别为18亿元、25亿元、32亿元，同比增速分别为1%、37%、30%，对应当前市值的PE分别为68倍、50倍、38倍。

公司是国产刻蚀设备龙头，在刻蚀、薄膜沉积及量测检测设备领域均有布局。我们维持公司“买入”评级。

风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期、新设备验证进度不及预期、行业竞争程度超预期、毛利率提升不及预期、海外上游零部件断供风险、汇率波动风险。