投资要点

泛半导体废气治理领军企业，纵横拓展打造新增长极。公司2005 年成立，主营工艺排气管道；2012 年进入泛半导体领域；2016 年拓展废气治理设备；2017 年进军湿电子化学品；2022 年新能源领域取得较大突破。公司在巩固泛半导体废气治理系统领先地位的同时，打造“工艺废气治理系统（中央治理）+制程附属设备（源头控制）”“湿电子化学品供应&回收再生系统+电子材料”的产品矩阵，具备一体化竞争优势。

刚需&高壁垒铸就泛半导体废气治理价值。废气产生于泛半导体生产过程多个环节，带来废气治理系统&设备需求。1）泛半导体废气治理直接参与制程保障产品良率，为刚性需求。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气治理系统及设备安全稳定性直接关系到产能利用率、产品良率等。2）泛半导体废气组分复杂技术要求更高，客户认证壁垒彰显价值。与一般行业相比，电子工业排放限值更严格&管控的污染物种类更多，工艺废气治理系统和生产过程结合更为紧密，考虑生产稳定性，客户认证层面彰显高壁垒。公司客户资源优质。主要客户包括中芯国际、华虹半导体、京东方、华星光电、隆基绿能、宁德时代等龙头，优质稳定客户资源为公司持续发展提供重要支撑。

高景气度&国产替代加速，泛半导体废气治理空间广阔，公司市占率有望快速提升。半导体产业景气度高企，大陆主要晶圆/面板产线2021-2025 年产能复增16.6%/8.0%。我国半导体IC 对外依存度高，“芯片法案”下国产替代进程加速。2030 年大陆废气治理系统/设备空间99/79 亿元，假设2023/2030 年，集成电路废气治理系统、面板废气治理系统、废气治理设备的国产化率分别达到30%/70%、55%/90%、30%/70%，对应2030 年国产废气治理系统/设备空间71/55 亿元，2023-2030 年复合增速32%/28%。2021 年，公司于光电显示/集成电路废气治理系统市占率分别为49%/24%；于制程附属设备市占率为13%，整体国产化率约23%。公司在光电显示领域废气治理系统市占率近50%，高市占率有望复制到集成电路，市占率随国产化进行而快速提升。

积累行业经验&客户资源，切入湿电子化学品领域。湿电子化学品在集成电路和平板显示领域国产化率仅为25%，国产化率待提升。2017 年，公司借助行业经验&客户积累纵向延伸至湿电子化学品领域，2018-2022 年该业务收入复增27%，国产化趋势下保持高速发展。

盈利预测与投资评级：公司已在半导体&面板废气治理具备一定行业地位，并拓展新能源领域；国产化趋势下市占率有望快速提升，我们预计公司2023-2025 年归母净利润2.15/2.94/3.87 亿元，同增65%/37%/31%，PE 22/16/12 倍（估值日期2023/5/22），首次覆盖，给予“买入”评级。

风险提示：下游行业资本支出波动，原材料价格波动，行业竞争加剧