事项：

2022 年4 月26 日，公司发布2021 年年报及2022 年第一季度报告：

1）公司2021 年实现营业收入12.33 亿元，同比+31.49%；实现毛利率27.22%，同比-0.60pct；实现归母净利润1.52 亿元，同比+25.28%；实现扣非后归母净利润1.42 亿元，同比+29.26%；2）公司2022Q1 实现营业收入1.89 亿元，同比+7.53%；实现毛利率28.80%，同比+2.56pct；实现归母净利润0.14 亿元，同比+17.81%；实现扣非后归母净利润0.13 亿元，同比+9.92%。

评论：

业务结构持续优化，集成电路业务已成为公司业绩增长的主要动能。公司2021年实现营业收入12.33 亿元，同比+31.49%；其中废气治理系统业务收入8.37亿元，同比+28.27%，废气治理设备业务收入2.91 亿元，同比+30.14%。公司不断推动业务结构优化，2021 年集成电路领域收入占比由2020 年的16.07%提升至46.52%，已成为业绩增长的新动能。受益于集成电路客户的不断开拓，同时光电显示领域优势显著，截至2022 年4 月26 日，公司在手订单金额约10.22 亿元（含税），充足的在手订单有望为公司全年业绩增长提供保障。

国内IC 用L/S 设备市场约100 亿元，公司与北方华创合作有望快速放量。目前国内集成电路用L/S 设备市场空间约100 亿元，市场份额主要被国外厂商占据。公司作为国内少数实现L/S 设备量产的厂商，主要与北方华创配套合作，配合其主机台进入下游客户供应链。北方华创是国内半导体设备龙头厂商，在刻蚀、薄膜沉积等L/S 设备主要需求环节拥有领先优势，通过与北方华创合作，公司L/S 设备有望在集成电路领域快速突破。2021 年公司泛半导体制程附属设备领域实现收入1.62 亿元，同比+424.88%，未来有望保持高增长。

公司布局泛半导体湿电子化学品生产环节，未来有望进入半导体材料领域。公司2018 年完成首单湿电子化学品供应与回收再生系统——京东方B11 化学品供应系统，通过标杆项目带来的示范效应，公司现已为京东方、深南电路、和辉光电、惠科等客户提供服务，2021 年公司湿电子化学品供应与回收再生系统业务实现收入0.86 亿元，同比+70.75%，未来收入有望快速放量。公司2021年8 月在上海市化学工业区设立全资孙公司上海盛剑微，布局泛半导体湿电子化学品制造相关领域，未来有望切入半导体材料领域。

投资建议：下游客户积极扩产带动废气治理需求快速增长，公司有望显著受益于下游旺盛的需求，同时L/S 设备、泛半导体湿电子化学品业务顺利推进。我们维持公司2022-2023 年归母净利润预测为2.15/3.08 亿元，对应EPS 为1.72/2.46 元；新增2024 年归母净利润预测为4.03 亿元，对应EPS 为3.22 元。

参考可比公司估值及公司自身业绩增速，我们给予公司2022 年30 倍PE，对应目标价51.58 元/股，维持“强推”评级。

风险提示：下游需求不及预期；原材料价格上涨超过预期；新产品研发及业务进展不及预期；中美贸易摩擦引发不确定性。