光刻机概念27日盘中发力走高，截至发稿，华融化学、芯碁微装20%涨停，佳先股份涨超17%，飞凯材料涨超14%，红宝丽、江化微等涨停，广信材料涨逾7%。

中信证券指出，光刻机作为半导体制造过程中价值量和技术壁垒最高的设备之一，2024年全球市场规模超230亿美元(SEMI数据)，其中ASML处于绝对领先;2024年国内市场规模超400亿元(SEMI数据)，但是跟据我们测算国产化率仅2.5%。目前半导体制造工艺节点缩小至5nm及以下，曝光波长逐渐缩短至13.5nm，光刻技术逐步完善成熟，但是国内光刻机仍明显落后于海外。同时，美国对中国先进制程设备和技术围追堵截，光刻机处于核心“卡脖子”状态。不论当前国内光刻机实际进展如何，国产高端光刻机的发展有望持续获得推动，国产光刻机及产业链将同步受益，市场信心将持续增强。

该机构表示，国内对于光刻机产业链的投资和支持力度持续加大，国产高端光刻机的发展有望获得推动，半导体设备产业链将有望同步受益。未来若DUV及EUV设备逐步实现国产化突破，国内先进制程产线有能力逐步实现国产替代，有望迎来新一轮的半导体扩产周期。建议关注受到光刻机“卡脖子”问题影响的半导体制造、设备、零部件自主化替代的相关公司，尤其是光刻工艺相关的设备和零部件厂商。此外，受益于国产光刻机突破，我们认为未来国内先进制程扩产有望加速。