近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

爱建证券指出，SEMI数据显示，2024年全球光刻设备市场规模达295.7亿美元，Mordor Intelligence预计全球光刻机市场规模到2029年将达378.1亿美元，2024-2034复合增长率为5.0%。在国产半导体产业链的通力合作下，越来越多的国产光刻机产业链企业取得显著进展，建议关注相关的投资机会。

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博众精工表示，2024年下半年博众仪器正式发布热场发射电子源、高稳定度直流高压电源和高稳定度恒流源，这些产品不仅是透射电子显微镜的关键部件，还可以用于扫描电镜、聚焦离子束、电子束光刻机等领域设备。

路维光电90nm、40nm在光刻机方面都需要使用电子束光刻机搭配干法制程技术，公司已经针对半导体掩膜版在电子束光刻、干法制程等技术方面开展了相应研究，不断进行技术突破。